在單色儀的光路布置中，簡單的是垂直入射裝置。它應(yīng)用了一塊自聚焦的凹面光柵，無需輔助的光學(xué)器件。稱為瀨谷浪岡裝置的光路使入身光束和出射光束在圓弧上保持固定的角度70°15′。在真空紫外區(qū)僅產(chǎn)生少量散焦。麥克沸生（McPherson）的光學(xué)系布置采用了不尋常的結(jié)構(gòu)。在它的交叉光學(xué)系統(tǒng)中采用了0.3m焦距的非球面反光鏡，系統(tǒng)的有效孔徑比為f/5.3。這一設(shè)計(jì)使它具有高通量而且焦距短。它既保持了垂直入射共焦點(diǎn)的特性，又有較寬的狹縫入射角。在波長105nm以下時(shí)，必須采用掠入射原理。光柵在羅蘭圓上移動(dòng)，出射狹縫在圓周上變動(dòng)位置。入射角范圍為82°～88°。